同辉科发厂区一角

电子特气被称为“芯片制造的血液”的重要材料，该气体一直受到欧美发达国家的技术封锁。重庆同辉科发气体有限公司生产的产品打破国外技术垄断，不仅实现电子特气国产化，还占到国内半壁江山，成功解决国外“卡脖子”问题。

落户涪陵 锐意创新迎难而上

在电子半导体领域里，电子气体广泛应用于离子注入、刻蚀、气相沉积、掺杂等制程工艺中，被称为集成电路、液晶面板、LED及光伏等材料的“粮食”和“血液”，并直接决定着电子半导体器件的性能优劣。但作为电子工业体系的核心关键原材料之一，高纯电子气体一直受到欧美发达国家的技术封锁。

打破电子特气领域的“卡脖子”问题并逐步实现国产化替代，成为决定我国芯片自主可控的一项重要因素，这同时牵动着重庆同辉气体有限公司的“心”。

受益于涪陵区良好的投资发展环境，2016年8月，位于涪陵区白涛新材料科技城的重庆同辉科发气体有限公司成立，该公司利用重庆华峰化工己二酸尾气为原料，回收提纯生产液体氧化亚氮。

电子级氧化亚氮主要用于半导体集成电路、液晶面板、太阳能、光电等行业的生产制造，在制程中的化学气相沉积过程参与反应形成氧化膜，是不可或缺的电子特气，在上述行业的生产过程中起着至关重要的作用。

2017年9月，该公司一期1万吨氧化亚氮项目顺利投产。氧化亚氮工业尾气提纯法要达到工业电子级，其难度大，一期投产后前期只能生产普通工业级，产品销售至国际气体巨头进行进一步的提纯后返销国内的终端用户，高纯氧化亚氮气体被国外公司垄断。

价格高供应无保障，不能满足电子级客户需求，公司高层对行业的现状非常的清楚，看到潜在的供应风险和隐患，也看到高质量发展的机遇，下定决心要努力实现国产化电子级氧化亚氮。同辉科发团队经过奋力拼搏，找出生产的短板，通过调整生产工艺、对设备装置进行升级，强化质量优先，在涪陵区经信委、区财政局等部门的扶持下，公司购置昂贵的进口分析设备，于2017年12月份成功产出符合客户要求的电子级氧化亚氮。

与此同时，企业获得2021年11月高新技术企业、2021年中国新型显示产业链绿色低碳奖、2021年“十三五”中国气体行业TOP10电子气体等荣誉。

攻坚克难 打破国外技术垄断

产品的质量提升了，但是新的问题又来了。由于国内的终端客户所需的电子级氧化亚氮之前都是国际气体公司巨头在供应，这些公司资金雄厚，给客户提供非常优越的产品质量条件及要求，大大提高了供应的质量门槛。面对客户无比挑剔的质量要求，公司在质量上必须狠下功夫。

公司再次投入巨额资金，先后改造生产充装的设施及环境，改造质量分析的硬件条件，购置大量的电子级行业标准使用的包装物。同时，聘请行业专家对公司管理及从业人员进行辅导、考核，引入先进的行业管理模式，重视质量发展及质量管理。在涪陵区委、区政府及白涛工业园区管委会的大力支持下，历时1年多，终于得到了行业的认可，替代电子级氧化亚氮国外进口，填补国内空白，产品大量稳定供应给国内外各大知名集成电路、液晶面板、太阳能产业龙头公司，公司在电子特气国产化道路上迈出了坚实的一步。

功夫不负有心人。2020年6月，随着二期1万吨/年氧化亚氮项目投产，同辉科发电子级氧化亚氮达到年产2万吨，产能占到国内约二分之一，占到国内半壁江山，终于实现电子特气国产化，也成功解决国外“卡脖子”问题，打破国外技术垄断。

“公司对产品做专、做大、做强，深耕产品质量，开发产品的用途，制定了食品级氧化亚氮标准。”同辉科发气体有限公司相关责任人称，历时两年通过国家卫健委专家评审，公司成为国内尾气提纯氧化亚氮唯一合法生产食品级氧化亚氮企业，其产品减少了国内饮料行业对进口的依赖。

目前，公司产品主要销往东南亚、欧洲以及国内的台湾地区，得到了客户的充分认可。下一步，公司将加大研发力度，持续提升产品质量，精细化生产，节能降耗，使产品在国际上有更强大的竞争力。（记者 洪俊）